电容式压力变送器使用薄膜片，通常是金属或金属涂层石英，作为电容器的一个板。隔膜在一侧暴露于过程压力而在另一侧暴露于参考压力。压力的变化导致它偏转29并改变电容。这种变化可能与压力成线性关系，也可能不是线性关系，通常是总电容的几个百分点。可以通过使用它来控制振荡器的频率或通过网络改变AC信号的耦合来监视电容。用于信号调理的电子元件应位于传感元件附近，以防止由于杂散电容引起的误差。电容式压力传感器的原理图如图所示。
电容是存储在两个导电板或保持相反电荷的电极之间的能量的量度。电容根据电荷强度，电极板之间的距离和板的尺寸而变化。通过保持电容器板之间的电荷不变，您可以通过测量它们之间的电压来判断一个板与另一个板的距离。增加流体压力使隔膜(电极板)偏转，关闭或增加到另一个板的距离，这会改变板之间的电荷。这种简单的方法证明既准确又可靠，并且与使用应变仪测量压力相比具有许多优点。
电容式压力变送器6大优点：
1、稳定： 电容式压力变送器不依赖于中间元件(例如应变仪)来产生输出。它们比粘合应变计元件更简单，更可靠，因为它们不需要粘合剂，这可以通过不同的热膨胀产生自我施加的应变。
2、良好的兼容性： 在电容式压力变送器中避免了集成应变变送器的介质兼容性问题，因为传感膜(电极板)可以由不锈钢，陶瓷或其他化学非反应性材料构成。它们还适应各种温度。
3、误差更小，精度更高： 电容元件也比应变计元件产生更强的输出。仍然需要一些信号调节，但需要较少的放大。较小的放大意味着误差成为输出信号的较小部分。最终，准确性得到改善。
4、EMI和RFI免疫： EMI和RFI可以产生杂散场，引入控制的电信号可能与实际的变送器输出“混淆”。与应变计元件不同，由电容型传感元件产生的高电平输出信号对低或中等EMI和RFI不敏感，从而保持输出的完整性。
5、数百万次循环的可靠性： 电容式传感元件还可承受数百万次满量程压力循环而不影响精度，因为它们不会因使用粘合剂而受到相同的影响。
6、压力传感装置的性能受其设计和技术的影响。与应变计压力变送器相比，电容式压力变送器可生成高精度，稳定的EMI / RFI免疫压力变送器，满足性能要求。
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